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　　成都纤声科技请求悬臂梁式压电MEMS器材及其制备办法专利，增大悬臂梁的受力极限

　　成都纤声科技请求压电膜片结构及声学器材专利，有用提高出产良率以及声学器材的低频稳定性

　　成都纤声科技请求半导体器材及其制备办法专利，完成表层金属层对预设氧化区的阻隔维护

　　成都纤声科技请求用于MEMS声学器材制备且能保证彻底刻穿振荡薄膜的掩膜版专利，能保证彻底刻穿振荡薄膜

　　成都纤声科技请求声学结构及其制备办法专利，有用改进声学结构内空腔一致性

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